1.極限真空泵不高及其消除
(1)油位太低，有較大排氣聲，可參加清潔的真空泵油。
(2)真空泵油為可凝性蒸汽所污染，可開氣鎮凈化或替換新油。
(3)泵口外接管道、容器、測試外表管道、接頭等漏氣。大漏時，有大排氣聲，排氣口有氣排出，應找出漏氣部位，進行消除。
(4)進氣咀或氣鎮閥橡膠密封圖裝配不妥，損壞或老化，應調整或替換。
(5)進油咀油孔堵塞，可拔出進油咀，疏通油孔。
(6)真空泵體系嚴峻污染，包含容器、管道等，應予清洗。
(7)旋片繃簧折斷，應予互換。
(8)旋片、真空泵身或蓋磨損，間隙過大，應進行查看，修整或互換。
(9)泵溫過高，應改進通風和冷卻。如所抽氣體溫度太高，應予先冷卻后再進入泵內。
2.噴油
(1)油位過高，可入出剩余油量。
(2)減霧器中有泵油或雜物，應清除。
3.真空泵漏油
放油螺塞，油箱墊片損壞或裝配不妥，螺釘擰緊;
油標未擰緊，有機玻璃過熱變形;
泵身部件與支座的銜接摯墊片未墊好;
油封裝配不妥或磨損;應予調整或替換。
4.真空泵噪聲
(1)旋片繃簧折斷，可互換繃簧。
(2)有毛刺、臟物或變形，工作發作妨礙，應查看修磨清洗。
(3)軸承磨損，零件磨損。應修整或替換。
(4)電機出毛病，應進行查看。
5.真空泵返油
(1)止回閥未關好，停泵后，油位很快下降，可再開再停，觀察變化或拆開查看。
(2)兩泵蓋內油封裝配不妥或磨損，可進行互換。
(3)真空泵蓋或泵身平面不平坦，可進行修整。
(4)排氣閥片損壞，應進行互換。