1.真空:在真空科學中，真空指的是給定空間內低于大氣壓的氣體狀態。人們通常稱這種稀薄氣體狀態為真空狀態。

　　2.真空度:顧名思義，真空度就是真空度。真空下氣體的厚度通常表示為“高真空”和“低真空”。高真空意味著“好”，低真空意味著“差”。所謂的“真空”是指在給定空間內壓力低于101325百帕(即大約1013百帕的標準大氣壓)的氣體狀態。在真空狀態下，氣體的稀薄程度通常用氣體的壓力值來表示。顯然，壓力值越小，氣體越稀薄。

　　3.真空泵極限壓力:真空泵能達到的最低壓力。

　　4.極度真空:真空容器在充分抽氣后穩定在一定的真空度。這種真空度被稱為極度真空。通常真空容器需要12小時的氣體精煉，然后抽真空12小時，最后一小時每10分鐘測量一次，取10次的平均值作為極限真空值。

　　5.大氣壓力:地球表面周圍厚厚的一層大氣對地球表面或表面物體施加的壓力稱為大氣壓力。

　　6.標準大氣壓力:指標準大氣條件下海平面的大氣壓力。1標準大氣壓=760毫微克=101325帕

　　7.絕對壓力和相對壓力:直接作用在容器或物體表面的壓力稱為絕對壓力，絕對壓力值以絕對真空為起點。用壓力計、真空計、U形管和其他儀器測量的壓力稱為表壓或相對壓力。

　　8.標準條件:通常指溫度為0℃，壓力為101325帕(1標準大氣壓，760毫米汞柱)的條件。以便在比較氣體體積時有一個統一的標準。除非另有說明，氣體的密度是指在標準條件下所說的密度。

　　9.泵送速率:在一定的壓力和溫度下，單位時間內從泵入口泵出的氣體量稱為泵送速率。泵速的簡稱。

　　10.主泵:在真空系統中，用來獲得所需真空度以滿足特定工藝要求的真空泵。

　　11.前級泵:一種真空泵，用于保持某一真空泵的前級壓力低于其臨界前級壓力。例如，安裝在羅茨真空機組羅茨真空泵前面的旋葉泵或液環泵就是前級泵。

　　12.真空計:用來測量真空的儀器。

　　13.真空系統:是由真空泵、真空計、真空容器和真空閥、冷阱等部件組成的抽氣裝置。根據一定的要求，通過真空管道，具有所需的抽氣功能。它的功能是在指定的時間和空間內獲得真空，保持真空，并保證系統中某一工藝過程或物理過程的實施。

　　14.飽和蒸汽:當液體在有限的空間內蒸發時，液體分子通過液面上方的空間進入變成蒸汽分子。因為蒸汽分子處于湍流熱運動中，它們相互碰撞，并與容器壁和液體表面碰撞。當與液體表面碰撞時，一些分子被液體分子吸引并返回到液體中成為液體分子。在蒸發開始時，進入空間中的分子數量多于返回液體中的分子數量。隨著蒸發的繼續，空間中蒸汽分子的密度不斷增加，因此返回液體中的分子數量也增加。當單位時間內空間中的分子數進入等于返回液體中的分子數時，蒸發和冷凝處于動態平衡狀態。此時，雖然蒸發和冷凝仍在進行，但空間中蒸汽分子的密度不再增加，此時的狀態稱為飽和狀態。處于飽和狀態的液體稱為飽和液體，其相應的蒸汽是飽和蒸汽，但最初只是濕飽和蒸汽，只有在蒸汽中的水分完全蒸發后才是干飽和蒸汽。蒸汽從不飽和到濕飽和再到干飽和的過程溫度不會增加。如果蒸汽在干飽和后繼續加熱，溫度將上升并變成過熱蒸汽。

　　15.飽和蒸汽壓:蒸氣壓指的是在液體(或者固體)的表面存在著該物質的蒸氣，這些蒸氣對液體表面產生的壓強就是該液體的蒸氣壓。 比如，水的表面就有水蒸氣壓，當水的蒸氣壓達到水面上的氣體總壓的時候，水就沸騰。我們通常看到水燒開，就是在100攝氏度時水的蒸氣壓等于一個大氣壓。蒸氣壓隨溫度變化而變化，溫度越高，蒸氣壓越大，當然還和液體種類有關。一定的溫度下，與同種物質的液態(或固態)處于平衡狀態的蒸氣所產生的壓強叫飽和蒸氣壓，它隨溫度升高而增加。