下面介紹真空泵的特點、工作原理和應用范圍。
1.螺桿泵
螺桿泵的特點：除了容積式泵的共同特點外，螺桿泵還可以應用于許多不允許液體攪拌和旋轉的場合，因為它具有軸向流動連續、均勻、脈動小、內部速度低以及允許更多空氣和其他氣體混合的優點。它常用于石油、化工、化纖、電力、海洋平臺工程、造船、精密機床、食品等工業部門。
2.齒輪泵
齒輪泵的特點：
(1)結構簡單，價格低廉;
(2)工作要求低，應用廣泛;
(3)端蓋和齒輪的每個齒槽形成多個固定的密封工作腔，只能作為定量泵使用;
(4)重量輕、工藝性好、價格低、自吸能力強、對油污不敏感、轉速范圍大、耐沖擊負荷、維護方便、工作可靠;
(5)徑向力不平衡，流量脈動大，噪音大，效率低，零件互換性差，磨損后難以修復，不能作為變量泵使用。
適用范圍：一般運輸潤滑液體，如燃油和石油部門的潤滑油;它在機械工業中用作中速小作用力液壓系統和潤滑油系統的輔助油泵。它可用于運輸高粘度材料，如尼龍、聚乙烯、聚丙烯和化學工業中的其他熔融樹脂。
3.旋片真空泵
旋片真空泵體積小、重量輕、噪音低。有一個氣鎮閥可以去除少量的水蒸氣。在5至40攝氏度的環境溫度范圍內，入口壓力小于1.3103帕，允許長期連續運行。當泵送氣體的相對濕度大于90%時，應打開氣鎮閥。配有自動防回油單向閥，啟動方便。進氣口不得連續平穩運行超過一分鐘。它不適合去除腐蝕金屬、與泵油發生化學反應、含有顆粒灰塵的氣體，以及含有過多氧氣、具有爆炸性和毒性的氣體。
旋片泵一般用于冶金、機械、軍工、電子、化工、輕工、石油和醫藥等生產和科研部門。
4.葉片泵
葉片泵的特點：輸出流量比齒輪泵更均勻，運行平穩，噪音更小。工作壓力高，容積效率也高。單作用葉片泵易于實現流量調節。雙作用葉片泵使用壽命長，因為轉子上的徑向液壓平衡。然而，葉片泵自吸能力差，對油污敏感，葉片容易被雜質卡住，工作可靠性差。結構復雜，制造精度要求高，成本高。該泵通常適用于中等粘度的液體。