干式螺桿真空泵主要使用一對螺桿，其特征是兩個螺桿通過動平衡進行精細平衡，并由軸承支撐，安裝在泵殼中，并且螺釘與螺釘之間有一定的間隙，這樣就制成了干式螺桿真空泵。在工作過程中，彼此之間沒有摩擦，運轉平穩，噪音低，在工作室中沒有潤滑，并且干式螺桿泵可以去除含有大量水蒸氣和少量灰塵的氣體，并具有最高的真空度更高。但是，中國使用的螺桿泵主要依靠進口，價格非常昂貴。
干式螺桿真空泵，它使用一對螺釘將泵殼中的吸氣和排氣泵出，以便同時進行高速反向旋轉。它的優勢彌補了油封真空泵的不足，我們都稱其為油封真空泵的升級版。但是，干式螺桿真空泵的成本也是其缺點。接下來，主要介紹其優點和缺點：
干式螺桿真空泵的優點
1、工作腔和螺桿轉子表面均具有抗腐蝕涂層，可適應惡劣條件
2、氣體未在泵中壓縮，適合于抽取可凝性氣體
3、無油耗，無滴落
4、結構簡單，易于維護。
5、所泵送的氣體直接從泵體排出，不污染水，沒有環境壓力，更便于氣體回收。
干式螺桿真空泵的缺點
1、由于螺桿泵加工困難，我國使用的螺桿泵主要依靠進口，價格非常昂貴。
2、不適合泵送爆炸性氣體。
3、不適合除去氧氣過多的氣體。
隨著中國工業界的發展，在半導體工業的加工制造，液晶顯示器等中，對清潔真空環境的要求越來越高，傳統的油真空泵已經不能滿足這種要求。螺桿式干式真空泵具有抽速范圍廣，結構簡單緊湊，抽氣腔部件無摩擦，壽命長，能耗低，無油污等優點，在制造和應用領域具有更多優勢。真空泵市場起著重要作用。在諸如歐美和日本的發達國家，螺桿干式真空泵在許多領域已逐漸取代了傳統的油泵。