爪式干式真空泵利用連接到兩個軸的成對爪式轉子之間、轉子和泵腔內壁之間以及轉子和隔板之間的間隙和無摩擦接合形成的封閉腔的容積變化來完成吸入和排出過程。

　　結構

　　爪式干式真空泵的結構一般采用多級轉子串聯或羅茨轉子與多級轉子串聯的形式，形成多級爪式干式真空泵。

　　四個泵室依次串聯，每個泵室內有一對爪形轉子，爪形轉子相互嚙合，同步反向運動。

　　四級泵室中的第一級泵室為吸入級，其吸入容積大于后三級，形成級間壓縮。

　　四對轉子安裝在兩根平行的軸上，軸由上下兩端的軸承支撐，泵室級和級之間設有隔板，隔板上設有吸排氣通道。

　　電機上下顛倒安裝，通過交叉齒輪將動力傳遞給轉子軸。轉子軸由一對同步時限齒輪驅動，并調節和固定轉子的相位。

　　轉子之間和轉子與泵腔內部留有小間隙，轉子懸浮在泵腔內，過流部分沒有任何實質性的接觸摩擦，不需要潤滑，保證了爪式泵能夠長期穩定地保持極高的真空度、泵速、恒定的壓縮比和長的使用壽命。

　　特征

　　泵室不含任何介質，如油等，清潔、排空，對環境無污染。

　　高真空，高達3Pa。

　　本實用新型結構簡單，易于操作和維護，運行成本低。

　　能在高壓下長時間連續工作，噪音小。

　　它能去除腐蝕性氣體、有毒氣體、易燃易爆氣體、放射性氣體、含塵氣體和可冷凝氣體(如水蒸氣、有機氣體等)。)。

　　可用作氣體輸送泵，壓縮比為10-105。

　　轉子對懸掛在泵腔內，轉子對與泵腔無接觸，無摩擦，使用壽命長。

　　應用

　　石化工業:

　　可以除去酸性氣體:例如四氫呋喃。

　　可以去除酒精、汽油等可冷凝氣體。

　　能清除易燃易爆氣體:如氧氣、氫氣、甲烷等。

　　防腐系列可去除強酸性氣體:如氯化氫氣體、氟化氫氣體、硫酸氣體等。

　　制藥行業:結晶、蒸餾、升華、干燥、除臭、聚合、真空蒸發、負壓過濾、單體回收、吸附/解吸、物料輸送腐敗、腐蝕性介質、環氧乙烷消毒等。

　　食品工業:升華、干燥、脫水、真空蒸發、真空保存、真空包裝等。

　　科研機構:旋轉蒸發、蒸餾、精餾、聚合、負壓抽濾、真空干燥、中試、風洞試驗、真空環境模擬等。

　　電子光伏:浸漬、真空鍍膜、離子刻蝕、分子束外延等。

　　航空航天:釬焊、真空鍍膜、電子束焊接、風洞試驗、空間環境模擬等。

　　冶金工業:浸漬、擠壓、真空鍍膜、離子蝕刻、泥漿脫氣、鋼水脫氣、分子束外延等。

　　核工業:零泄漏爪式泵可以清除UF6氣體

　　其他行業:中央空調、室內真空、污水處理、鋰電池制造等。