1、主動軸外伸部分的動密封
目前采用較多的是標準型號的機械密封和帶加強環(huán)的骨架真空橡膠密封。機械密封功耗小，允許線速度大;但結構復雜，成本較高。骨架密封結構簡單，功耗較大，為減少軸與密封圈之間的摩擦，軸的表面硬度和光潔度要高。為了防止軸的磨損，可在軸上加一個硬度較高的且與軸靜密封的軸套。
另外，還可以采用獨立的密封盒結構，使密封件的拆裝和更換更加簡捷方便。還有的羅茨泵把電動機密閉在泵體一端的殼體內(nèi)，從而有效地解決了動密封問題，提高了泵的真空度，降低了驅動功率。
但為防止電機繞組線圈在真空下起弧，電動機的電源電壓應降至 50V 以下。該結構用于中、小型泵。
2、端蓋殼體與泵腔之間的軸密封
由于齒輪箱或端蓋殼體內(nèi)均有預抽管道與泵的出口相通，即這部分的壓力與前級泵入口壓力基本相同，與泵腔之間的壓差較小，所以一般可采用迷宮式密封、反螺旋式密封或活塞脹圈密封。
3、泵體端面的靜密封
有的采用有機硅室溫硫化橡膠膜密封，密封面不用加工密封槽，但因該硫化橡膠密封膜為一次性使用，且配制較麻煩，給現(xiàn)場維護帶來不便，且密封膜的厚度對轉子端面間隙有影響，在安裝時要掌握好膜的厚薄均勻性。
還可采用真空橡膠圈密封，密封可靠，即保證了轉子軸向間隙，又可方便地在現(xiàn)場拆裝。如果對泵體端面的結構設計適當，密封槽的加工可以很方便。
4、泵的潤滑方式
羅茨真空泵的潤滑部位主要有三處：軸封處──
一般用油杯潤滑;齒輪和軸承處──用齒輪或甩油盤濺油來保證潤滑。對于大泵也可采用油泵強制供油潤滑方式。