在使用螺桿真空泵的過程中，為減少故障的發生并預防問題的發生，有必要定期檢查真空泵以確保設備的運行狀態。螺桿真空泵廠家會通知定期的定期檢查，告知螺桿真空泵在使用過程中注意事項。
螺桿真空泵在應用中，周期進行的例行檢查主要包括日檢查、月檢查、季度檢查以及半年檢查、年度檢查。
每日檢查的內容主要包括：1、油位線是否過高或過低;2、是否有足夠的冷卻水流量;3、檢查真空泵兩端端蓋的表面溫度是否正常;4、檢查進氣口與排氣口的壓力;5、用電流表檢查電動機負載，如果功率增加過多就表示有異常現象。
每日檢查的基礎上，每月檢查包括：1、檢查潤滑油顏色，確定是否需要更換;2、檢查油位，如果油位下降太快，則需要檢查密封。
每季度檢查內容：1、檢查冷卻水流量以及顏色，定期清理水套和水管;2、檢查并更換非驅動端端蓋的潤滑脂;3、檢查并更換驅動端端蓋內的潤滑油。
每半年檢查螺桿真空泵的進排氣管道。
每年例行檢查內容：1、檢查真空泵的密封;2、檢查螺桿真空泵的接觸面：螺桿與泵體。卸下真空泵的進氣管道，檢查螺桿與泵體的接觸面。