真空泵失效和操作不穩定的最常見原因是油污染。如果水或酸性蒸氣流經該泵二并讓油維持工作一段時間.則會發生對泵的嚴重腐蝕和損壞。確定需要換油的最簡單方法是，在泵上連接一個真空表，查明能否最終達到額定真空。
怎樣降低真空泵能源消耗？
A.合理選用真空泵的材料
考慮能夠維持真空機組的運行壽命在4年以上，盡量選用低價易鑄的，對于腐蝕性液羅茨真空泵體等介質的，可選用過流部件防腐、采用不銹鋼材質，當然具體選用需結合產業實際需求而論。
B.合理確定真空泵的出力
首先要摸清各級真空泵系統的阻力，消除阻力過大的異常現象。其次考慮各種不利因素共同影響下它的最大給抽氣量，再結合運行要求確定出安全又經濟的系統壓力。最后根據總抽氣量對真空機組進行改造出力配置，保證安全的前提下，讓系統處于中速運轉，使運轉工況所需的真空度和抽氣量與真空泵的效能相匹配。
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