高效抽氣能力：旋片真空泵通過(guò)轉(zhuǎn)子與旋片的協(xié)同運(yùn)動(dòng)，周期性改變泵腔容積，實(shí)現(xiàn)氣體的快速吸入與壓縮排放。其抽速范圍通常為0.5-150升/秒，單級(jí)泵極限壓力可達(dá)1帕，雙級(jí)泵更可低至6.5×10?²帕，能滿足電子晶圓吸附等工藝對(duì)真空度的嚴(yán)苛要求。結(jié)構(gòu)緊湊設(shè)計(jì)：機(jī)組小車采用一體化撬裝結(jié)構(gòu)，將泵體、電控系統(tǒng)、過(guò)濾器等部件集成于緊湊空間內(nèi)，占地面積小，便于在實(shí)驗(yàn)室或生產(chǎn)線靈活布局。其輕量化設(shè)計(jì)（如電機(jī)直聯(lián)驅(qū)動(dòng)）進(jìn)一步減輕了設(shè)備重量，提升了便攜性。移動(dòng)靈活便捷：小車底部配備移動(dòng)輪，支持快速搬遷與多工位切換，尤其適用于需要頻繁調(diào)整設(shè)備位置的晶圓加工場(chǎng)景。部分機(jī)型還支持手自動(dòng)模式切換，確保在PLC損壞等緊急情況下仍能維持最低限度運(yùn)行。運(yùn)行穩(wěn)定可靠：旋片真空泵通過(guò)油膜密封與強(qiáng)制進(jìn)油潤(rùn)滑設(shè)計(jì)，確保運(yùn)動(dòng)部件間的完美氣密性與恒定潤(rùn)滑，同時(shí)減少有害空間對(duì)極限壓力的影響。其內(nèi)置的自動(dòng)防返油雙重保險(xiǎn)裝置與金屬絲網(wǎng)粗過(guò)濾器，可有效防止油返入被抽系統(tǒng)與固體塵粒吸入泵腔，保障設(shè)備長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行。維護(hù)簡(jiǎn)便經(jīng)濟(jì)：機(jī)組小車結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，維護(hù)成本低。用戶可通過(guò)定期檢查油位、更換真空泵油（首次工作滿150小時(shí)后換油，之后每500小時(shí)換油）與油過(guò)濾器、清潔進(jìn)氣口濾網(wǎng)等常規(guī)操作，確保設(shè)備性能。其低成本、高性能的特點(diǎn)使其成為空間有限或預(yù)算敏感場(chǎng)景的理想選擇。安全防護(hù)完善：設(shè)備配備雙重密閉系統(tǒng)（充氣式電磁閥+機(jī)械止回閥）與排氣過(guò)渡器，可防止氣體倒流與油霧排放，避免晶圓污染或設(shè)備損壞。同時(shí)，其內(nèi)置的吸氣閥可在停泵時(shí)自動(dòng)隔離泵與被抽系統(tǒng)，防止油返入被抽系統(tǒng)，保障操作安全。適應(yīng)性強(qiáng)：旋片真空泵機(jī)組小車可單獨(dú)使用，也可與其他高真空泵（如分子泵）組成真空機(jī)組，以應(yīng)對(duì)不同工藝對(duì)真空度的差異化需求。例如，在晶圓鍵合工藝中，可先通過(guò)旋片泵快速抽至低真空，再切換至分子泵實(shí)現(xiàn)超高真空環(huán)境，提升工藝效率。經(jīng)濟(jì)性高：機(jī)組小車采用無(wú)油設(shè)計(jì)（...
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2025
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