5.真空系統外大氣通過器壁材料滲透到系統內的氣體：

氣體在固體中也會發生溶解、滲透。因此大氣通過容器壁結構材料會向真空系統內滲透部分氣體。這種滲透在一般的金屬系統下可以不考慮，但部分應用在玻璃真空系統或薄壁金屬系統會需要考慮滲透氣體帶來的影響。?

?真空系統在結構設計建設過程中需要注意的十個方面：??

一、結構材料選擇標準的無縫鋼管和板材，減少焊接結構，提高真空部件的氣密性。對于需要進行焊接結構的系統元件，應針對性的選擇焊接性能好的鋼材。

二、合理設計焊接結構，提高焊接工藝質量。焊接是真空系統建設過程中的一道重要工序，焊接結構要避免處于真空中的焊縫有污物積存的空隙。如果出現污物積存或空隙，不僅會給清洗造成困難，還會成為真空系統中緩慢放氣的氣源。如果焊縫出現死空間，就會成為難以找到漏隙所在。

三、避免出現隔離孔穴（氣袋），或為其開設出氣孔，便于快速抽真空。氣袋會成為緩慢放氣的源泉，增長了抽氣時間。

四、最好能對真空系統內的構件及內壁進行電鍍拋光、氧化處理等，減少表面放氣。不同的真空環境對內壁粗糙度的要求也不相同，原則上要求處于真空系統內的構件和殼體內壁表面是越光潔越好（一般高真空的內壁粗糙度Ra為6.3～3.2；中真空的內壁粗糙度Ra為12.5左右；超高真空的內壁要求拋光，達到非常光潔的表面。另外需要注意，生銹的金屬表面對抽真空十分不利。

五、法蘭連接先焊接后加工，保證尺寸、粗糙度要求以及氣密性。焊接時容易引起法蘭變形，因此目前國內都采用焊接后再對法蘭加工，這樣既可達到尺寸和粗糙度的要求，又能保證兩個法蘭連接時密封可靠。

六、高溫度下工作的真空橡膠密封圈，可采用水冷結構加以保護，防止部件部件損壞或壽命變短。

七、真空系統元件及真空室殼體器壁需滿足一定厚度，以滿足其有足夠的強度保證不會在內力外力作用下發生變形（滿足內外部打壓，3個大氣壓下不變形）。實際應用中，真空容器一般采用圓形結構較好；而端蓋采用凸形結構為好。

八、保證由外部進入真空室內的轉動件或移動件的動密封性能。除了選擇好的密封結構外，其中的軸或桿一定要滿足粗糙度要求，防止軸和桿上無軸向劃痕，這種劃痕會引起氣體泄漏，降低系統的真空度，且不易被發現。

九、真空系統上測量規管座位置的安排應遵循如下原則：a.不能將測量規管放在密封面較多的地方。因為每一個密封面都不可能保證絕對不漏氣，密封面集中之處，必然是容易漏氣的地方，測量值可能不準。b.規管內壁各處，必須保證真空衛生，否則會造成測量不準。c.規管應盡量接在靠近被測量的地方，以減少測量誤差。

十、真空室殼體上的水套結構，要保證水流暢通無阻，更不能出現死水，造成局部過熱。因此進出水管位置要一下一上，且設置流水隔層，使水沿一定的路線流動。