真空泵是一種產(chǎn)量大，應(yīng)用面很廣的產(chǎn)品，但它確實(shí)是直接影響真空設(shè)備性能質(zhì)量的必備基礎(chǔ)產(chǎn)品。真空泵的范圍從高/超真空到粗/低真空。產(chǎn)品可分為14類：

高/超真空——低溫泵，分子泵，濺射離子泵，鈦升華泵，擴(kuò)散泵。?

中真空——干式泵，兩級(jí)旋片泵，羅茨泵，油增壓泵，水蒸汽噴射泵。?

粗/低真空——單級(jí)旋片泵，滑閥泵，液環(huán)泵，往復(fù)式真空泵。?

真空泵市場(chǎng)根據(jù)用戶需求動(dòng)態(tài)變化。市場(chǎng)增長(zhǎng)的主要驅(qū)動(dòng)因素是半導(dǎo)體行業(yè)的快速發(fā)展以及干泵和分子泵應(yīng)用的日益增長(zhǎng)。?

目前，全球真空泵市場(chǎng)年銷售額約為20億美元，年增長(zhǎng)率約為7％。?

中國(guó)有許多真空泵制造商。所有真空泵的年銷售額約為1.5億元，僅相當(dāng)于美國(guó) Kinney真空泵的年銷售額。通過(guò)對(duì)全球真空泵市場(chǎng)的分析，可以看出各種真空泵的市場(chǎng)和應(yīng)用領(lǐng)域在不斷變化和發(fā)展。中國(guó)的真空泵制造業(yè)歷史悠久，基礎(chǔ)扎實(shí)。國(guó)內(nèi)生產(chǎn)的真空泵已經(jīng)在各個(gè)領(lǐng)域得到應(yīng)用和驗(yàn)證。一些泵也出口到國(guó)外，并得到了外國(guó)用戶的認(rèn)可，并得到了好評(píng)。應(yīng)該說(shuō)中國(guó)的真空泵制造業(yè)在中國(guó)內(nèi)外部市場(chǎng)仍有巨大的發(fā)展空間。?

?1.液環(huán)泵

雖然液環(huán)泵是一臺(tái)粗真空泵，但它在中國(guó)的石油，化工，電力，紡織，造紙，醫(yī)藥等領(lǐng)域仍有很大的市場(chǎng)。

在國(guó)外，液環(huán)泵的銷量占真空泵市場(chǎng)總量的14％，僅次于干泵，因此Nash，Seimems和Kinney等公司正在中國(guó)投資或建立銷售網(wǎng)絡(luò)以擴(kuò)大其在中國(guó)的市場(chǎng)份額。由于液環(huán)泵主要是鑄造而且加工要求不高，因此它是一種勞動(dòng)密集型產(chǎn)品。因此，國(guó)產(chǎn)液環(huán)泵在價(jià)格上具有競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)。關(guān)鍵是要改進(jìn)設(shè)計(jì)，減少體積，減輕重量，提高效率，降低能耗。?

?2.滑閥泵

由于滑閥泵更耐用可靠，國(guó)內(nèi)外各種真空爐，涂布機(jī)，烘干和浸漬設(shè)備使用滑閥泵作為前級(jí)泵，但滑閥泵鑄件很重，加工工作量很大，因此國(guó)外真空廠正在尋找合作伙伴，為了使國(guó)內(nèi)滑閥進(jìn)入國(guó)際市場(chǎng)，有必要進(jìn)一步降低泵的振動(dòng)和噪音，防止燃油噴射和漏油，提高滑閥泵長(zhǎng)期運(yùn)行的可靠性。

3.直聯(lián)旋片泵

隨著真空技術(shù)在各種應(yīng)用中的不斷擴(kuò)展，對(duì)直聯(lián)旋片泵的需求不斷增加。由于此類泵的數(shù)量眾多，加工和裝配工作量非常大，而且價(jià)格非常低，因此一些國(guó)外真空制造商在中國(guó)設(shè)立了專業(yè)工廠。國(guó)內(nèi)中小型直聯(lián)旋片泵已經(jīng)過(guò)技術(shù)通過(guò)，價(jià)格遠(yuǎn)遠(yuǎn)低于國(guó)外泵。因此，國(guó)產(chǎn)泵仍具有競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)。關(guān)鍵是要解決軸封油泄漏問(wèn)題以及旋轉(zhuǎn)葉片材料和真空泵油的性能質(zhì)量問(wèn)題。確保直聯(lián)泵在高速和高溫下穩(wěn)定可靠，進(jìn)一步提高了國(guó)產(chǎn)直聯(lián)旋片泵除去水蒸氣的能力。?

?4.羅茨泵

來(lái)自國(guó)外羅茨泵的生產(chǎn)情況，幾家大型外國(guó)公司，如Leybold，Balzers，Alcatell，Edwards和ULVAC，他們的羅茨泵銷量占全球銷售額的羅茨泵超過(guò)5％，這5家僅占20％，生產(chǎn)的是羅茨泵并不大，但國(guó)外羅茨泵的價(jià)格遠(yuǎn)高于國(guó)產(chǎn)泵。目前，國(guó)內(nèi)外幾乎所有大小型高真空和中等真空系統(tǒng)都配備有羅茨泵，以縮短抽氣時(shí)間，提高生產(chǎn)效率。因此，國(guó)內(nèi)羅茨泵必須在占領(lǐng)國(guó)內(nèi)市場(chǎng)的基礎(chǔ)上進(jìn)入國(guó)際市場(chǎng)。進(jìn)一步降低國(guó)產(chǎn)羅茨泵的振動(dòng)噪聲，徹底解決了軸封漏油問(wèn)題，提高了泵的外觀質(zhì)量，提高了泵的平穩(wěn)性和清潔度。另外，有必要考慮一些國(guó)家和地區(qū)的工頻是60Hz，并且必須在增加速度的條件下確保羅茨泵的長(zhǎng)期運(yùn)行的可靠性。?

目前，國(guó)內(nèi)氣冷直排氣氛羅茨泵進(jìn)展迅速，技術(shù)成熟。

由于泵在排氣口下方配備了氣體冷卻器，一部分冷卻后的氣體通過(guò)管道返回泵室冷卻轉(zhuǎn)子，使壓縮熱平衡，泵可直接排氣到了大氣層。為了滿足不同極限真空的要求，泵可以串聯(lián)使用。通常，前面增加了空氣冷卻的直排氣氛羅茨泵，實(shí)現(xiàn)的極限真空比前級(jí)泵高一個(gè)數(shù)量級(jí)。這種類型的泵實(shí)際上是干泵，因?yàn)楸檬抑袥](méi)有工作介質(zhì)。目前，這種氣冷式在線氣氛羅茨泵和機(jī)組已經(jīng)在石油，化工，塑料，農(nóng)藥，渦輪轉(zhuǎn)子動(dòng)平衡，航天空間模擬等設(shè)備的長(zhǎng)期運(yùn)行中進(jìn)行了測(cè)試，因此應(yīng)予以推廣和應(yīng)用。在中國(guó)申請(qǐng)。?

5.分子泵?

分子泵在許多國(guó)外半導(dǎo)體領(lǐng)域，它被用來(lái)取代低溫泵，尤其是濺射，刻蝕和LCVD。復(fù)合材料分子泵和牽引泵用作主泵。?

由于水蒸汽的分子泵僅為相同直徑低溫泵抽速的四分之一，因此分子泵的排氣時(shí)間比低溫泵的排氣時(shí)間長(zhǎng)。為了增加抽速，在分子泵的入口側(cè)安裝了-130°C~-150°C的低溫冷板，稱為低溫分子泵。水蒸氣被低溫板捕獲，其他氣體被分子泵抽走。這種低溫分子泵適用于真空鍍膜設(shè)備，不僅提高了生產(chǎn)效率，還提高了薄膜質(zhì)量。隨著中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)，電影產(chǎn)業(yè)和科學(xué)研究的迅速發(fā)展，分子泵應(yīng)成為中國(guó)真空泵制造業(yè)發(fā)展的重點(diǎn)。首先，分子泵應(yīng)該從小到大構(gòu)建一個(gè)完整的系列，并研發(fā)各種復(fù)合分子泵，牽引泵和低溫分子泵，以滿足不同場(chǎng)合的需要。?

?6.干泵

海外干泵市場(chǎng)繼續(xù)增長(zhǎng)，其主要驅(qū)動(dòng)力來(lái)自半導(dǎo)體工業(yè)，化學(xué)工業(yè)和電影工業(yè)的快速發(fā)展。在日本，半導(dǎo)體工業(yè)用干式真空泵取代了油封機(jī)械泵。超過(guò)45％的歐美半導(dǎo)體行業(yè)用干式真空泵取代了油封機(jī)械泵，大大提高了產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。為了滿足不同應(yīng)用領(lǐng)域和不同工況的要求，有多級(jí)羅茨真空泵，多級(jí)爪式真空泵，螺桿真空泵，渦旋真空泵，往復(fù)式活塞真空泵和渦輪無(wú)油真空泵。極限壓力為10 Pa至10-2 Pa，0 x 7d6為20 m3/h至500 m3/h。

據(jù)統(tǒng)計(jì)，目前國(guó)內(nèi)干泵應(yīng)用不到1％。半導(dǎo)體行業(yè)的國(guó)產(chǎn)干泵全部從國(guó)外進(jìn)口，價(jià)格非常昂貴。因此，中國(guó)應(yīng)大力研發(fā)干泵，使干泵成為中國(guó)真空行業(yè)新的經(jīng)濟(jì)增長(zhǎng)點(diǎn)。?

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