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貼合機為什么要用德國speck水環真空泵

發布時間: 2025 - 09 - 06

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真空泵如何搭配真空過濾器

發布時間: 2025 - 09 - 05

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集中供真空方案設計

發布時間: 2025 - 09 - 03

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行業資訊了解行業的最新資訊

2020 - 08 - 18

螺桿真空泵因其輸送變量大、自吸能力強、可逆性和輸送含固體顆粒液體的能力，在污水處理廠被廣泛用于輸送水、濕污泥和絮凝劑溶液。螺桿泵的選擇應遵循經濟、合理、可靠的原則。如果不仔細考慮設計選擇，將會給以后的使用、管理和維護帶來麻煩。因此，根據實際生產需要選擇合理可靠的螺桿真空泵不僅可以保證生產的順利進行，還可以降低維修成本。　　一、螺桿真空泵轉速選擇　　流量與螺桿真空泵的轉速呈線性關系。與低轉速螺桿泵相比，高轉速螺桿泵可以提高流量和揚程，但功率明顯增加。高轉速加速了轉子和定子之間的磨損，導致螺桿泵早期失效。轉速可通過減速機構和無調速機構降低，并保持在每300轉的合理范圍內，與高速運行的螺桿泵相比，可延長使用壽命。　　二、螺桿真空泵的質量　　目前，市場上螺桿真空泵的種類很多。與進口螺桿泵相比，設置修改合理，材質好，但零件價格高，服務不足，零件價格高，訂貨周期長，可能影響生產的正常運行。大部分國產產品都是仿進口產品，質量很差。在選擇國產產品產品時，考慮到其性價比，選擇低速、長導程、優良的傳動質量和長額定壽命產品的產品。　　三，確保雜物不會進入進入泵體　　由于固體垃圾混入濕污泥中會損壞螺桿泵的橡膠定子，因此確保垃圾不會進入進入泵腔非常重要。許多污水處理廠必須在泵前安裝粉碎機、格柵裝置和過濾器，以防止垃圾進入進入螺桿泵　　四，避免切割材料　　當物料斷開時，螺桿真空泵不能工作。一旦發生這種情況，螺...

水環真空泵結構原理

2020 - 08 - 26

水環真空泵是帶有多葉片的轉子偏心裝在泵殼內。當它旋轉時，把液體拋向泵殼并形成與泵殼同心的液環，液環同轉子葉片形成了容積周期變化的旋轉變容真空泵。　　水環真空泵就是這種靠偏置葉輪在泵腔內回轉運動使工作室容積周期性變化以實現抽氣的真空泵。它的工作室由旋轉液環和葉輪構成，其結構和工作原理與液環壓縮機相似。下面這個3D動畫比較直觀：　　當工作液體為水時，稱水環式真空泵，水環真空泵是一種粗真空泵，它所能獲得的極限真空為2000~4000 Pa，串聯大氣噴射器可達270~670 Pa。　　當葉輪按圖中順時針方向旋轉時，水被葉輪拋向四周，由于離心力的作用，水形成了一個決定于泵腔形狀的近似于等厚度的封閉圓環。水環的下部分內表面恰好與葉輪輪轂相切，水環的上部內表面剛好與葉片頂端接觸(實際上葉片在水環內有一定的插入深度)。此時葉輪輪轂與水環之間形成一個月牙形空間，而這一空間又被葉輪分成和葉片數目相等的若干個小腔。如果以葉輪的下部0°為起點，那么葉輪在旋轉前180°時小腔的容積由小變大，且與端面上的吸氣口相通，此時氣體被吸入，當吸氣終了時小腔則與吸氣口隔絕;當葉輪繼續旋轉時，小腔由大變小，使氣體被壓縮;當小腔與排氣口相通時，氣體便被排出泵外。

污水處理中螺桿真空泵的使用是不可缺少的

2020 - 09 - 07

基本上需要真空的行業都需要螺桿真空泵。這種真空泵在產生一定量的真空的同時，還兼有抽水、抽氣等功能。一般的污水處理需要專業的污水處理設備，但是在污水處理中也發現這個真空泵的使用是不可缺少的。具體表現在哪里呢?　　1.污水處理廠因其利用螺桿真空泵可變量輸送、可逆轉、自吸能力強、能輸送含固體顆粒的液體等特點而被廣泛用于水、濕污泥和絮凝劑藥液的輸送。但是，如果設定修訂選定有錯誤，會給今后的使用、管理、維護帶來不便，因此根據生產的實際需要選擇合理可靠的真空泵，可以順利進行生產，降低修理成本。　　2.螺桿真空泵的流量與轉速呈直線關系，高轉速帶來流量和揚程的增加，功率顯著增大，加速轉子與定子之間的磨損，導致螺桿泵的早期故障，并且高轉速螺桿泵的能夠通過減速機構和無級調速機構降低轉速，合理地控制轉速范圍。這在污水處理的應用中尤為顯著。　　在螺桿真空泵的作用下，說明污水基本上處理得很好，在污水處理行業中廣泛使用，真空泵旋轉時，中螺桿一起動，幫助真空泵完成污水處理工作。

水環真空泵的原理和優勢是什么?

2020 - 09 - 29

水環真空泵的原理和優勢是什么?　　水環泵開始作為自吸泵使用，被石油化學工業機械礦山輕工醫藥食品等很多工業部門使用。在工業生產的許多工藝中，例如真空過濾、真空取水、真空輸送、真空蒸發、真空濃縮、真空潮汐和真空脫氣等水泵得到了廣泛的運用。隨著真空運用技能的飛躍發展，水環泵在獲得粗真空方面一直備受關注。水泵的氣體收縮是等溫的，除了可以排出易燃易爆的氣體外，還可以排出含有灰塵和水的氣體，所以水泵的運用越來越多。介紹一下小編水環真空泵的工作原理? 水環式真空泵優秀嗎? 水環真空泵的原理：　　泵體里有適量的水作為工作液。葉輪沿圖示的方向順時針旋轉時，水被葉輪拋向周圍，在離心力的作用下，水構成由泵室的形狀決定的大致等厚的封閉圓環。水環的上部本分外表正好與葉輪輪轂接觸，水環的下部內外外表正好與葉片前端接觸(實際上葉片一定有扎入水環內的深度)。現在，葉輪的輪轂和水環之間構成了新月形的空間，這個空間被葉輪分成葉片數量不平坦的幾個小空洞。以葉輪上部0為起點，葉輪在旋轉前的180時，小室的容積變小，與端面的吸氣口相通，此時氣體被吸入，吸氣結束時小室與吸氣口隔絕。葉輪繼續旋轉的話，小腔室會變大變小，氣體會被收緊。型腔通向排氣口時，氣體會排出泵外。　　如上所述，水泵根據泵室容積的變化結束吸氣、緊縮、排氣，因此屬于可變容量式真空...

干式真空泵的結構與特點

2020 - 10 - 19

真空泵是利用機械、物理、化學或物理化學方法對泵進行排氣以得到真空的裝置或裝置。干式真空泵用戶在真空泵知識中的應用需要掌握以下結構和特征，希望幫助大家。　　真空泵泵體的配置決定了泵的整體結構。　　入口和出口以水平的垂直結構設置，便于組裝和電纜連接。但是，泵的重心高，高速運轉的穩定性差，因此這種類型用于小型泵。　　臥式泵在吸氣口，排氣口在下面。真空系統的配管安裝連接容易，有時可以從排氣的水平方向排出。也就是說，排氣方向相互垂直。此時，排氣口除了排氣管的另一端為旁通閥以外，還可以從左右方向打開排氣口。該泵結構具有低重心和高速穩定性。一般來說，大中型泵都使用這種結構。　　泵的兩個轉子軸安裝成垂直于水平面。該結構易于控制裝配間隙，轉子安裝方便，泵面積小。但是，泵的重心是高度和齒輪的拆裝，潤滑機構也很復雜。

水環真空泵如何除銹

2020 - 10 - 29

水環真空泵是內部結構比較精細化的機械設備，其本身在生產加工時進行了一些防銹作業，后期總是保養工作不充分，由于不規則的使用方法，設備自身的防銹效果下降，生銹的水環真空泵不僅工作效率低下，各部件的壽命也會受到影響。因此，水環真空泵生銹時，必須立即進行除銹作業。　　一、人工除銹非常節約費用、保險。人工除銹，我們可以用自己手頭的工具除銹。我們人為除銹，不用其他化學產品除銹，所以節約費用。由于是水環真空泵的泵室內部，如果用化學除銹劑除銹，泵室可能會多少破損。　　二、用除銹劑除銹，很干凈，但會導致泵室損壞。如果水泵生銹了，可以人工進行除銹或除銹方法處理，但需要根據水泵本身的實際生銹情況，研究選擇什么除銹方式。這樣可以選擇更合適的除銹方法來除銹。此外，水泵除銹結束后，也一定要進行相關的保養工作，鞏固維護除銹的效果。

干式真空泵的使用注意事項

2020 - 11 - 10

隨著干式真空泵的利用率越來越普遍，其質量也在提高。由于其特性和優勢，它被大家廣泛使用。為了讓每個人都了解它的應用，讓我們學習干式真空泵的使用注意事項：　　(1)每次啟動之前，請檢查設備和管道連接。　　(2)在行駛之前，請確認進氣管和排氣管中沒有異物，并打開排氣管的閥門以避免壓力損失。　　(3)啟動真空泵后，打開入口管中的閥門，以防止異物堵塞腔體。　　(4)觀察油位窗并檢查潤滑油是否充足。　　(5)濾網和泵腔應在含有粘性物質或粉塵的工作條件下定期清潔。建議在每次停止泵之前進行清潔。　　(6)在間歇條件下停止后，如果啟動不穩定，請打開電機蓋，將電機軸移動5-10圈，或蒸汽10分鐘。　　(7)當泵送冷凝性氣體或環境濕度過高時，在停止泵之前必須引入足量的干燥空氣，并且必須排空泵腔。　　(8)當長時間停止泵時，關閉進氣閥，打開真空泵20分鐘，然后停止泵以避免水蒸氣進入。　　(9)確保運行期間循環冷卻水的數量和溫度符合技術要求。如果沒有水，則停止泵;　　(10)當環境溫度低于零時，請在停止泵時確保冷卻水循環，以防止腔體凍結。　　(11)對于可凝性氣體，排氣管必須低于排氣口，且排氣口朝上，并與三通連接并與回收罐連接。　　以上是干式真空泵的使用注意事項。您可以理解，正確的操作方法可以在操作過程中取得良好的效果。建議使用適當的設備，以避免盲目操作中不必要的麻煩。

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進口真空泵出現漏水如何處理?

2020 - 04 - 26

進口真空泵做為人們平時生產制造衣食住行工作上常常會采用的一種機器設備，在應用時人們將會碰到各式各樣的常見故障，比如：真空泵起煙、真空泵不夠、真空泵噪聲、真空泵卡住、真空泵滲油、真空泵溫度高、真空泵抽不了力、真空泵不轉、真空泵工作壓力很小、真空泵漏水等。實際上造成真空泵出現常見故障，許多情況下都是由于平常錯誤操作而導致的，當進口真空泵出現漏水狀況，人們應當如何處理?　　碰到進口真空泵漏水這個問題時不必慌亂，進口真空泵出現漏水狀況，人們應當如何處理呢?人們針對實際問題分析究竟是什幺緣故導致的這一常見故障，隨后還有目的性的去處理。　　1、假如發覺已經工作的柴油發動機的真空泵漏水，不可馬上終止其工作中，應使其維持在最少的平穩轉速比，另外向制冷系內邊加河邊加水(留意：開啟放水口蓋時，應在其上邊放一遮住物，避免被出現的水蒸氣燙傷)，使柴油發動機減溫，短期內、慢速度行車，駛至周邊藏身之處再開展清除。如果是突遭真空泵罩殼裂開而漏水，或真空泵內零件毀壞而喪失泵水功效時，可酌情考慮拆換有關零件，故障檢測。　　2、假如真空泵毀壞得十分比較嚴重，中途又沒有維修標準，可將真空泵的進、出水口立即接好，以靈活運用熱水管的當然循環系統功效臨時性使柴油發動機維持一切正常的溫度;或是運用一內胎或塑料水桶做為器皿，將其死死地固定不動住，隨后從器皿中引出來二根橡膠軟管，一根接在柴油發動機的進水管上，另一根接在柴油發動機...

高溫油泵的選擇技巧

2020 - 04 - 28

高溫油泵作為優質熱油循環泵和熱載體輸送泵，是換熱設備中理想的配套泵，能夠輸送無固體顆粒的高溫液體。高溫油泵采用自加熱散熱結構，改變了傳統的水冷結構，使泵結構更加合理、高效、節能，產品性能得到優化，使用可靠性大大提高。高溫油泵的選擇可從管道布置、運行工況、液體性質、輸液量和裝置揚程五個方面考慮。接下來將為您詳細分析高溫油泵的選擇技巧。　　1.裝置系統的管道布置情況是指進液高度、進液距離、進液方向、側最低液位、出料側最高液位等數據，以及管道規格及其長度、材料、管件規格、數量等。為了計算系統的揚程和檢查氣蝕。　　2.有許多操作條件，例如液體的操作溫度、飽和蒸汽力P、吸入側壓力PS(絕對)、排出側容器壓力PZ、海拔、環境溫度的操作是間歇的還是連續的、以及高溫導熱油泵的位置是固定的還是可移動的。　　3.液體性質，包括液體介質名稱、物理性質、化學性質和其他性質，物理性質包括溫度C、密度D、粘度U、固體顆粒直徑和介質中氣體含量等。這涉及到系統的揚程、有效汽蝕余量的計算和合適的泵型：化學性質，主要指液體介質的化學腐蝕性和毒性，是選擇高溫導熱油泵材料和使用哪種軸封類型的重要依據。　　4.設備系統所需的揚程是泵選擇的另一個重要性能數據。一般情況下，電梯應在放大5%-10%后選擇。　　5.流量是惠州高溫油泵廠家的重要性能數據之一，直接關系到整個裝置的生產能力和輸送能力。例如，設計院可以在工藝設計中計算正...

真空泵工作原理通俗解析

2020 - 04 - 30

真空泵是指使用機械、物理、化學或物理化學方法對泵送容器進行抽吸以獲得真空的裝置或設備。一般來說，真空泵是一種使用各種方法來改善、產生和保持封閉空間內真空的裝置。　　由于真空應用部門涉及的工作壓力范圍很廣，任何類型的真空泵都不可能完全適用于所有的工作壓力范圍。根據不同的工作壓力范圍和不同的工作要求，只能使用不同類型的真空泵。為了便于使用和滿足各種真空工藝的需要，有時根據性能要求組合各種真空泵并以單元形式應用。　　1.真空泵的類型　　隨著真空應用的發展，真空泵有多種類型，泵送速度從每秒零點幾升到每秒幾十萬或幾百萬升。隨著真空技術對其在生產和科研領域的應用壓力范圍的要求越來越寬，為了滿足生產和科研過程的要求，多臺真空泵組成一個真空泵系統來共同抽氣是非常必要的。　　常用的真空泵有：干式螺旋真空泵、水環泵、往復泵、滑閥泵、旋轉葉片泵、羅茨泵和擴散泵等。這些泵是我國國民經濟各行業應用真空技術的主要泵。近年來，隨著中國經濟持續高速發展，真空泵相關下游應用產業保持了快速增長勢頭。同時，在真空泵應用領域不斷擴大等因素的推動下，我國真空泵行業實現了持續、穩定、快速的發展。　　2.真空泵的總體結構公式和傳動方式　　真空泵泵體的布置結構決定了泵的整體結構：1)立式結構：進、排氣口水平布置，便于管道的組裝和連接。然而，這種泵重心高，高速時穩定性差，所以這種泵主要用于小型泵。2)水平結構：泵有一個上入口和一個...

水環真空泵怎么注水

2020 - 05 - 07

水是水環真空泵不可缺少的。一方面，當我們檢查泵時，我們檢查它的水量是否充足。只有在水量充足的前提下才能提高設備的效率，許多功能都是在加水充足的前提下實現的。然而，由于結構原因，許多用戶無法注水。以下細節詳細描述了注水過程。　　1、小泵站人工注水法，進水管直徑小于300毫米，進水管入口通常有底閥，一般采用人工注水法，即從泵殼上部的專用充排水孔處的注水漏斗注水。　　2、在啟動水環真空泵之前，將水箱注滿水并密封。水泵啟動后，水泵從真空箱進入水箱。由于水箱中的水位下降，水箱中形成一定的真空。在大氣壓力的作用下，水箱中的水通過進水管進入進入水箱，形成水循環，使水泵開始正常運行。　　3、真空水箱注水法對于無底閥的小型泵站，可采用真空水箱注水法。　　4、常用的方法是在水環真空泵的吸氣孔或靠近泵的進水管上安裝手動泵，以泵送空氣和分水，使其成為水環真空泵啟動時的注水工具，從而取消了泵進水管上的底閥，減少了能量損失，提高了水泵裝置的效率。　　5、自引水和注水對于半潛式泵房，無需人工注水即可將水引入泵內。這種泵站也有明顯的優勢，即易于實現泵站自動化，時效性強。　　向2bv2-071水環真空泵注水時，必須檢查水循環是否正常，壓力是否保持在正常范圍內。用水填充泵的優點是降低能耗，并使泵始終處于正常使用狀態。

真空泵原裝配件有哪些優勢

2020 - 05 - 13

真空泵是一種廣泛的機械設備。隨著當今市場對真空泵認識的不斷提高，對真空泵的需求越來越大。盡管許多人經常使用真空泵，但他們對真空泵附件了解很多。因此，他們經常購買一些專業的真空泵配件來組裝和使用真空泵。事實上，關于這個真空泵的組裝，嚴格地說，最初的包裝由于幾個原因工作得更好。　　一、真空泵原裝配件的優勢　　1.首先，原來的部分更好地融合在一起。　　事實上，這個原理大家都會很熟悉，因為現在的真空泵配件，也涉及到很多組裝問題，完全是原裝產品，有了原裝配件，可以使用起來更方便，經過原裝組裝，配件之間的磨合在使用過程中會相對更好，更安全。　　2.其次，原有配件的失效概率相對較低　　原始配件在使用中出現故障的概率也相對較低。如果不是原裝配件和多個部件混合在一起，實際上并不是對每個人都有好處，因為非常好的部件或其他問題和條件容易不兼容，這將影響用戶的使用效率，這也是一個重要的方面。　　3.原有配件維護更方便　　簡而言之，所有的配件都來自制造商，因此即使他們自己的設備存在細微的故障和小問題。部門處理速度很快。如果有混搭，很多不同的部門可能會同時參與，這將導致售后處理的麻煩。這就是為什么許多人不想看它。　　一般來說，真空泵附件的使用和更換對于經常使用真空泵的人來說也是一個問題。因此，更換時使用原裝產品通常更明智。效果也是最好的，以便為真空泵提供最大的優勢。　　二、真空泵原裝配件的必要性　　一般的仿制...

造紙廠該怎么選擇水環真空泵

2020 - 05 - 18

1、選擇節能型水環真空泵　　目前，國內外市場上有2BV、2BE、V、vg等系列適用于造紙行業的水環真空泵。通過近年來水環真空泵在原油和低真空行業新產品的開發，水環真空泵的效率有了很大的提高。　　2、選擇低速水環真空泵　　水環真空泵的效率與轉速直接相關。水環真空泵的空氣量主要與轉速有關。當轉速高于規定值時，軸功率與轉速呈近似二次關系。當轉速增加10%時，風量也增加10%，而軸功率增加約20%。因此，在選擇真空泵時，應盡可能選擇低轉速的水環真空泵。　　3、真空點的合理組合　　具有相似空間位置的真空度和真空點應結合在一起，并由較大的水環真空泵抽吸。水環真空機組的組合應考慮有利于管道布局和區分各功能區。當風量相近，真空度不同時，可選用帶隔板的水環真空泵。　　4、水環真空泵組合點容積應換算　　5、應適當考慮真空泵管道損耗　　從每個真空元件吸入的氣體在管道中流動時會有一定的管道損耗，這將導致氣體壓力降低和體積膨脹。　　6、介質溫度應適當校正　　由于造紙機上水環真空泵抽取的氣體是溫度較高的濕空氣，而水環真空泵的工作流體由于條件限制，水溫較高，與水環真空泵性能曲線上標定的工作條件不一致，因此需要對空氣溫度和水溫進行修正。　　當空氣溫度較高而水溫較低時，修正后的空氣量會較小，所選的水環真空泵會較小，否則所選的國產水環真空泵會較大。

濾油機真空泵常見故障類型有哪幾種呢?

2020 - 05 - 22

隨著工業化的發展不斷進步，濾油機成為很多工廠的必要設備。很多工廠的濾油機使用年限過長。導致真空泵出現問題。濾油機真空泵常見故障類型有哪幾種呢?　　1.真空泵排氣口冒煙;　　2.真空泵噴油、漏油;　　如果真空泵問題不是很嚴重的情況下,可自行拆開真空泵,更換真空泵易損件之后對真空泵進行清洗組裝,達到保養真空泵的目的;　　3.真空泵噪音超標;　　4.真空度下降;　　5.真空泵發燙等現象。　　對濾油機真空泵正確的保養可減少真空泵維修的難度,應適當的對真空泵進行保養才能更好的使用真空泵,以下對真空泵保養問題提出幾點建議：　　1.長時間停機啟動真空泵前,應斷續多次啟動真空泵;　　2.首次安裝真空泵應檢查電機是否正轉,也就是電機與泵內轉子轉向一致,一般電機上方標有電機正常運轉方向;　　3.應定期更換真空泵油,一般3~6個月進行一次更換,如發現泵油乳化、碳化等情況,還應及時更換真空泵專用油.　　4.在使用完真空泵后,應對真空泵進行放;　　5.在真空泵運轉時油溫不應高于75度,如故障原因請即時聯系真空泵廠家;　　6.旋片式真空泵應安裝在清潔的濾油機、干凈的環境里,不宜有雜物、粉塵、水源、溫度過高的區域;　　7.如果真空泵需24小時運轉,必須每半年對真空泵進行一次保養維修;　　8.如果濾油機真空泵有吸入雜質、粉塵、水份、化學物質等潛在危險,應該在真空泵進氣口位置加裝精密過濾器,如果雜質、粉塵、水份量過...

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真空機組中泵抽速的配合

日期： 2019-07-10

來源:

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一般的高真空系統均須采用真空機組以獲得足夠高的真空。最簡單的真空機組為多級擴散泵或渦輪分子泵(作為主泵)與機械泵(作為前置泵)等串聯。在多泵串聯使用時，不但極限真空要有一定的要求，抽速之間也應有合理的配合，以充分發揮各泵的效能。各泵之間的關系，可根據穩定流動下，流量恒定關系來確定。?

真空機組

設S1為主泵的抽速，S2為前置泵的抽速，p1為工作時主泵的進口壓強，P2為前置泵的進口壓強。則主泵的抽除量為p1S1，前置泵的抽除量為P2S2。穩定流動時，兩者相等，故有：p1S1=p2S2?

則得：?

即前置泵的抽速應等于主泵抽速乘以兩泵的工作壓強比值p1/p2。因為有p1,p2，故有S2,S1,即前置泵抽速比主泵抽速小。例如，設機組工作時擴散泵的壓強為機械泵的10-3倍，即p1/p2=10-3，此時理論上機械泵抽速僅為擴散泵抽速的千分之一即可。實際選用機械泵時抽速應比理論值大3~5倍，以留有充分的余地;同時可縮短系統達到擴散泵啟動壓強所需的時間。

現在很多的公司,因為需要滿足生產需要去選擇購買真空機組.但是需要注意的是,在購買的過程中一定要聽一下專業人員的建議,選擇合適的自己的真空機組.

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發布時間： 2025 - 07 - 23

旋片真空泵機組360度輪移動方便攜帶

高效抽氣能力：旋片真空泵通過轉子與旋片的協同運動，周期性改變泵腔容積，實現氣體的快速吸入與壓縮排放。其抽速范圍通常為0.5-150升/秒，單級泵極限壓力可達1帕，雙級泵更可低至6.5×10?²帕，能滿足電子晶圓吸附等工藝對真空度的嚴苛要求。結構緊湊設計：機組小車采用一體化撬裝結構，將泵體、電控系統、過濾器等部件集成于緊湊空間內，占地面積小，便于在實驗室或生產線靈活布局。其輕量化設計（如電機直聯驅動）進一步減輕了設備重量，提升了便攜性。移動靈活便捷：小車底部配備移動輪，支持快速搬遷與多工位切換，尤其適用于需要頻繁調整設備位置的晶圓加工場景。部分機型還支持手自動模式切換，確保在PLC損壞等緊急情況下仍能維持最低限度運行。運行穩定可靠：旋片真空泵通過油膜密封與強制進油潤滑設計，確保運動部件間的完美氣密性與恒定潤滑，同時減少有害空間對極限壓力的影響。其內置的自動防返油雙重保險裝置與金屬絲網粗過濾器，可有效防止油返入被抽系統與固體塵粒吸入泵腔，保障設備長期穩定運行。維護簡便經濟：機組小車結構簡單，維護成本低。用戶可通過定期檢查油位、更換真空泵油（首次工作滿150小時后換油，之后每500小時換油）與油過濾器、清潔進氣口濾網等常規操作，確保設備性能。其低成本、高性能的特點使其成為空間有限或預算敏感場景的理想選擇。安全防護完善：設備配備雙重密閉系統（充氣式電磁閥+機械止回閥）與排氣過渡器，可防止氣體倒流與油霧排放，避免晶圓污染或設備損壞。同時，其內置的吸氣閥可在停泵時自動隔離泵與被抽系統，防止油返入被抽系統，保障操作安全。適應性強：旋片真空泵機組小車可單獨使用，也可與其他高真空泵（如分子泵）組成真空機組，以應對不同工藝對真空度的差異化需求。例如，在晶圓鍵合工藝中，可先通過旋片泵快速抽至低真空，再切換至分子泵實現超高真空環境，提升工藝效率。經濟性高：機組小車采用無油設計（...

發布時間： 2025 - 07 - 22