真空泵在性能、結構和工作原理怎么分類,下面小面就給大家介紹一下
(1)按真空泵性能特點和用途分類?
低真空泵:
此真空泵的極限壓強高于1.33Pa的真空泵屬于低真空泵。常見的有往復式真空泵、旋片式真空泵、水環式真空泵、噴射式真空泵以及吸附式真空泵。?
中真空泵:
極限壓強在10-2~1.33pa之間的真空泵屬于中真空泵。常見的有羅茨真空泵、多級噴射式真空泵等。?
高真空泵:
極限壓強在10-6~10-2pa的真空泵屬于高真空泵。各種擴散泵及分子泵等屬于高真空泵。?
超高真空泵:
極限壓強低于10-6Pa的真空泵屬于超高真空泵。超高真空泵主要有離子泵、低溫泵等。?
(2)按真空泵結構特點分類?
機械式容積真空泵:
這種泵是靠機械動作使泵腔工作容積周期變化來實現抽氣作用的。如往復式真空泵、旋轉式機械泵等都屬于此類泵。?
射流式真空泵:
這種泵沒有機械運動部件.主要靠通過噴嘴的高速射流來抽真空。屬于這類泵的有水蒸氣噴射泵、空氣噴射泵、水噴射泵以及各種擴散泵等。?
其他類型真空泵:
這類泵多屬于獲得高真空、極高真空或高純潔真空泵的泵類，如吸附泵、分子泵、離子泵、冷凝泵等。?
(3)真空泵按工作原理分類
這是真空泵的基本分類方式，根據工作原理的不同各種真空泵可分為往復式、旋片式、滑閥式、機械增壓式、噴射泵、擴散泵、分子泵、離子泵、冷凝泵等。