抽真空速度是決定真空等離子清洗機工作效率的重要因素之一。吸塵速度主要由真空泵決定。當要加工的產品的尺寸很大時，必須使用具有大腔（80L以上）的真空等離子清潔器。如果僅使用一個真空泵，則抽真空速度將變慢，并且抽真空所需的時間將很長。 因此，大腔真空等離子體清潔器通常配備有真空泵組以提高抽真空速度。今天我們將介紹等離子清潔器中使用的真空泵組的類型以及選擇真空泵組時的注意事項。
真空泵組合兩個或多個真空泵組成一系列結構，可大大加快真空泵送速度。在真空等離子體清潔器中通常使用三種類型的真空泵組，一種是旋轉葉片真空泵和羅茨泵;另一種是干式真空泵+羅茨泵;最后一個是機械泵和分子泵。?
1.旋片式真空泵+羅茨泵
旋片式真空泵和由羅茨泵組成的泵組也可稱為油泵組。該泵組是我們真空等離子清洗機中最常見的泵組。它由旋片式真空泵驅動。泵，加上羅茨泵作為二級泵的組合。這種類型的泵組通常用于真空等離子清潔器，其中清潔度要求不是很高并且腔體很大。
旋片式真空泵和羅茨泵是真空等離子清洗機中最常見的泵組。有許多優點：首先，它可以大大提高抽速和減少抽真空時間。二，結構相對簡單，易于維護;第三，具有成本效益，具有價格優勢。
2.干式螺桿真空泵+羅茨泵
干式螺桿真空泵和羅茨泵組合成干式泵組。泵組使用干式螺桿真空泵作為底部泵，使用羅茨泵作為輔助泵。因為它們都是由干式真空泵組成，所以沒有油污染，清潔度高于油泵組。干泵組通常用于具有高清潔度要求的行業，例如生物醫學，半導體和航空航天。
干泵組具有優越的性能，具有許多優點：一是清潔度高，避免油污;二，高真空速度，提高工作效率;三，工作性能穩定，聲音低。第四，對工作環境的要求低，可以應對各種惡劣的工作環境。
3.機械泵+分子泵
機械泵加上分子泵形成一個特殊的泵組 - 分子泵組。分子泵組的使用可以形成清潔的超高真空環境，因此分子泵組通常用于需要高真空環境的涂布機和蝕刻機等設備中。
分子泵組是如此強大，它有什么優勢？首先，分子泵組啟動快，抽速非常快。其次，分子泵組不使用油，不會造成油污染。第三，維護簡單。