真空泵機組通常由以下部件組成：各種真空泵;真空測量機組;真空閥;真空管和一些其他組件，如鼓風(fēng)機，真空接頭，儲氣罐，波紋管，集塵器和真空繼電器。

根據(jù)機組的工作壓力，有粗真空泵機組（> 1330Pa）;低真空泵機組（1330~0.13Pa）;高真空泵機組（0.13~1.3×10-6 Pa）;超高真空泵機組（1.3×10-6）~1.3×10-11 Pa）;非常高的真空泵機組（<1.2×10-11 Pa）。

用于高真空的羅茨真空泵（機械增壓泵）不能直接排放到大氣中。例如，直排氣氛將導(dǎo)致羅茨真空泵的入口和排氣口之間的壓力差太大，從而使羅茨真空泵過載。增加羅茨真空泵電機的功率將導(dǎo)致羅茨真空泵過熱，因此羅茨真空泵轉(zhuǎn)子之間的小間隙會因熱膨脹而迅速卡住。為了確保羅茨真空泵能夠?qū)崿F(xiàn)更高的真空度，必須確保羅茨真空泵轉(zhuǎn)子之間的間隙。因此，羅茨真空泵必須配備前級泵，當系統(tǒng)中的壓力通過前級泵泵送到一定范圍時，羅茨真空泵啟動，這樣可以防止羅茨真空泵過載。前級泵可以是可以直接排放到大氣中的真空泵，例如水（液體）環(huán)真空泵，旋片真空泵，滑閥真空泵或往復(fù)式真空泵。

羅茨真空泵機組在正常情況下，使用水環(huán)泵作為前級泵比其他真空泵更有優(yōu)勢，主要是因為它可以去除大量的可冷凝蒸汽，特別是當氣鎮(zhèn)機械真空泵消除冷凝時。有性蒸汽容量不足，或者使用的溶劑會使泵油劣化并影響性能，或者當真空系統(tǒng)不允許油污染時更明顯。

低真空泵機組的主要特點是工作壓力大，排量大，但泵送速度低于高真空泵機組。它廣泛用于真空泵送和真空吸塵，真空浸漬，真空吸塵，真空脫氣，真空干燥等設(shè)備。低真空泵機組的主泵是常用的往復(fù)式真空泵，油封真空泵，水射流泵，水蒸汽噴射泵，水環(huán)泵，油蒸汽噴射泵，分子篩吸附泵和羅茨泵。當使用低真空泵機組時，還必須根據(jù)泵送氣體的清潔度和濕度的工藝要求配置諸如集塵器和干式過濾器的部件。

高真空泵機組如JZJX，JZJP型羅茨旋片式真空泵機組。

1選擇主泵，主泵有擴散泵，分子泵，濺射離子泵，鈦泵，低溫泵等。

2選擇預(yù)抽泵和儲氣管（防震，縮短工作循環(huán)，防止真空室內(nèi)大量通風(fēng)，并穩(wěn)定擴散泵的出口壓力）

超高真空泵機組

主泵具有極高的真空度，低泄漏率，并且在200至450°C的溫度下耐烘烤。

1擴散泵機組：減少回流和控制污染;

2分子泵機組：氫壓縮比小，殘余氣體主要為氫氣;

3濺射離子泵機組：通常與鈦泵配合使用;

4低溫泵機組：無污染。

由于超高真空泵機組的高成本，裝配結(jié)構(gòu)更加嚴格，現(xiàn)在正由羅茨旋片式真空泵機組取代。但是，在極其嚴格的工作環(huán)境要求下，還有另一個量化需求。