三、真空擋板充氣閥參數(shù)
類型：擋板閥
驅(qū)動(dòng)方式：氣動(dòng)/電磁
法蘭形式：KF LF
閥體材料：不銹鋼
適用真空：高真空
適用范圍：1×10-3a～1.2×105Pa
打開時(shí)閥板上的壓差：≤1.2×105a任意方向
閥體和閥座漏率： <1.3×10-5Pa·L·s-1
首次保養(yǎng)循環(huán)次數(shù)：200，000次
周圍空氣溫度：-25℃~50℃
安裝位置：閥板密封面上端口接泵入氣口
壓縮空氣：0.4～0.7MPa
電源：
氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)：交流220V 50Hz，6W或直流24V，3W（特殊規(guī)格可定做）
電磁驅(qū)動(dòng)：交流220V或230V 50Hz，起動(dòng)功率800W、保持功率8W
閥門開啟或關(guān)閉時(shí)間：
氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)：≤1s
電磁驅(qū)動(dòng)：開啟≤0.1s；關(guān)閉≤1s
閥門位置指示：
氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)：帶有啟閉位置指示開關(guān)（磁性開關(guān)）
電磁驅(qū)動(dòng)：帶有開啟位置指示燈