在真空干燥過程中，將要干燥的物料放在密閉的干燥室中，并使用真空系統連續加熱要干燥的物料，以使物料內部的水分通過壓差或壓力擴散到表面。濃度差，水分子在材料表面。在克服分子之間的相互吸引之后，獲得足夠的動能以逃脫真空室的低壓空間，從而被真空泵抽走。真空干燥有助于回收有用和有害的材料，并提供良好的密封性。在環境保護的意義上，有人將真空干燥稱為“綠色干燥”。
在真空條件下，降低了材料水分的沸點，并加快了蒸發過程，因此它特別適用于對溫度敏感并易于分解的材料。真空干燥主要在低真空區域中進行。在蒸發過程中，谷物的沸騰蒸發溫度與環境壓力成正比。將高水分谷物置于密閉的干燥筒中以形成干燥筒并保持一定真空度。同時，干燥筒中的谷物被連續加熱。谷物內部的水分通過壓力差擴散到表面，然后蒸發，然后由真空泵抽走，以在真空低溫狀態下連續脫水和干燥高水分谷物。
真空干燥將水的沸騰蒸發溫度從100°C降低到40°C以下。由于蒸發溫度低于淀粉的糊化溫度，因此不會產生谷物的損傷。避免了谷物的膨脹和破裂，可以保證谷物干燥后的產品質量。它可以確保干燥后物料的原始顏色，香味，味道，營養成分和質量基本保持不變。這是真正意義上的低溫干燥，與通常的低溫低溫熱風干燥完全不同。
真空冷凍干燥技術是先冷凍材料，然后在真空下加熱，將冰升華至最終干燥。所使用的加熱方法是紅外加熱，微波加熱等，并且需要提供的熱量來快速升華冰，而不會使產品的表面受到損傷的影響。真空冷凍干燥技術可以保持產品的原始顏色，香味，味道，形狀和營養，特別是熱敏材料的干燥。這是生產綠色食品的有前途的方法。