真空鍍膜技術是真空泵應用技術的一個重要分支，它已普遍地應用于光學、電子學、能源開發(fā)，理化儀器、建筑機械、包裝、民用制品、外表科學以及科學研討等范疇中。真空鍍膜所采用的辦法主要有蒸發(fā)鍍、濺射鍍、離子鍍、束流堆積鍍以及分子束外延等。如果真空鍍膜的目的是為了改動物質(zhì)外表的物理和化學性能的話，這一技術無疑是真空外表處置技術中的重要組成局部。在元件方面，在真空中蒸發(fā)鎳鉻，能夠制造電阻，制造電容器，蒸發(fā)硒能夠得到靜電復印機用的硒鼓、蒸發(fā)鈦酸鋇能夠制造磁致伸縮的起聲元件等等。真空蒸發(fā)還能夠用于制造超導膜和慣性約束劇變反響用的微珠鍍層。此外還能夠對珠寶、鐘表外殼外表、紡織品金屬花紋、金絲銀絲線等蒸鍍裝飾用薄膜，以及采用濺射鍍或離子鍍對刀具、模具等制造超硬膜。近兩年內(nèi)所興起的多弧離子鍍制備鈦金制品，如不銹鋼薄板、鏡面板、包柱、扶手、高檔床托架、樓梯欄桿等目前正在盛行。

　　真空鍍膜設備不間斷使用十二個月以上，里面的抽速就會變慢，這就要及時的做清洗工作，那么如何對真空鍍膜設備進行全方面的維護呢?

　　首先充入大氣，拆去聯(lián)結水管，卸去電爐盤和噴嘴，泵腔及泵膽分三次清洗，先用汽油將清洗一遍，再用洗衣粉清洗一遍，然后用清水徹底清洗干凈。

　　等到曬干之后，重新加入泵油，裝好泵膽，并裝回機體，便可以重新開機。在重新開機前，要注意檢漏工作。啟動維持泵，關好大門，數(shù)分鐘后，觀察擴散泵部分真空度是否達到6X10帕，否則要進行檢漏。檢查聯(lián)接處是否裝密封膠圈，或壓壞密封圈。排除漏氣隱患后方可加熱，否則擴散泵油會燒環(huán)，無法進入工作狀態(tài)。

　　真空鍍膜設備每完成二百個鍍膜程序以上，應清潔工作室一次，鍍膜設備廠家表明用燒堿飽和溶液反復擦洗真空室內(nèi)壁，注意安全不可以直接接觸燒堿溶液，以免灼傷，目的是使鍍上去的膜料鋁與燒堿發(fā)生反應，反應后膜層脫落，并釋放出氫氣，再用清水清洗真空室和用布沾汽油清洗精抽閥內(nèi)的污垢。

　　真空鍍膜設備里面的粗抽真空泵連續(xù)工作三十天就要換新油，真空鍍膜機泵油使用過久，可能抽入水分、雜質(zhì)及其它原因，而使用油粘性變差，真空下降，故需要更換泵油，將泵內(nèi)的舊油全部排放出來。擰回放油螺栓，加入無雜質(zhì)真空油至額定量。 !